Le forbairt mhear na teicneolaíochta leictreonaí, tá próisis déantúsaíochta micrea-nana á nglacadh go forleathan i dteicneolaíocht na micridhéanta. Le linn próiseála, nuair a bhuaileann plasma ard-dlúis, ardfhuinnimh agus nuair a chreimeann sé cóimhiotail alúmanaim, Grianchloch, criadóireacht agus comhpháirteanna eile, gintear éilliú cáithníneach. Is féidir leis na cáithníní éilliúcháin seo tionchar suntasach a imirt ar cháilíocht agus ar tháirgeacht an táirge, ag giorrú saolré comhpháirteanna trealaimh táirgthe. Ag an am céanna, féadann fluairídeanna neamh-(-so-ghalaithe) a ghintear le linn micreadhéantúsaíocht a bheith i dtaisce ar dhromchla comhpháirteanna leictreonacha, rud a chruthaíonn lochtanna nó fiú iad a dhéanamh do-úsáidte. Dá bhrí sin, tá friotaíocht plasma ríthábhachtach do chomhpháirteanna i dtrealamh déantúsaíochta leictreonach. Faoi láthair, úsáidtear ocsaíd yttrium go forleathan i bratuithe dromchla ceirmeacha mar gheall ar a n-airíonna fisiceacha agus ceimiceacha den scoth chun an fhéidearthacht go n-éilítear comhpháirteanna leictreonacha a laghdú.
Na buntáistí a bhaineann le sciath ocsaíd yttrium a chur i bhfeidhm:
(1) Laghdaíonn deireadh a chur le fluairíd alúmanaim tar éis sciath ocsaíd yttrium cáithníní éillithe ar dhromchla an táirge;
(2) Laghdaíonn an t-ábhar miotail aistrithe íseal in ocsaíd yttrium an baol éillithe comhpháirteanna inmheánacha ag miotail mar K, Na, Fe, Cu, agus Ni;
(3) Tá airíonna tréleictreach níos fearr ag ocsaíd Yttrium, agus dá thiús an sciath, is amhlaidh is láidre a fhriotaíocht ar mhiondealú tréleictreach;
(4) Mar ábhar comhpháirte resistant plasma, taispeánann ocsaíd yttrium ráta íseal creimthe sa phlasma;
(5) Tá friotaíocht teasa den scoth, friotaíocht caitheamh, agus airíonna inslithe ag an sciath ocsaíd yttrium, ag cur feabhas ar infheidhmeacht táirgí ceirmeacha i réimse na hinnealtóireachta leictreonaí.